-
公开(公告)号：CN107588763A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201710695579.1
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C21/18
Abstract: 一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
-
公开(公告)号：CN107449410A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710695555.6
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01R33/09
CPC classification number: G01C19/5656 , G01R33/098
Abstract: 一种电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁、检测组合梁、驱动质量块、检测质量块、驱动梁、检测梁、驱动梁连接块、检测梁连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、导线、电极组成，支撑框架设置于键合基板上方，支撑框架通过驱动组合梁连接驱动质量块，驱动质量块通过检测组合梁连接检测质量块，隧道磁阻元件设置在检测质量块上表面中心位置并与键合基板凹槽内沉积的检测磁体相对应，此装置整体结构设计合理紧凑，采用电磁驱动，隧道磁阻检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，且使用方便、可靠性好、适合微型化。
-
公开(公告)号：CN107356249A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710695629.6
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
CPC classification number: G01C21/16
Abstract: 一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。
-
公开(公告)号：CN107588763B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201710695579.1
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C21/18
Abstract: 一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
-
公开(公告)号：CN110068318A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910320433.8
申请日：2019-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁阻元件，隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应，通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中，此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化，预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，整体结构设计合理，工艺制造简单，可实现性强且容易检测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107421525A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710695564.5
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。
-
公开(公告)号：CN207395752U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201721017176.3
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。
-
公开(公告)号：CN210570714U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201920541160.5
申请日：2019-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁阻元件，隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应，通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中，此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化，预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，整体结构设计合理，工艺制造简单，可实现性强且容易检测。
-
公开(公告)号：CN207395750U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201721017271.3
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01R33/09
Abstract: 一种电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁、检测组合梁、驱动质量块、检测质量块、驱动梁、检测梁、驱动梁连接块、检测梁连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、导线、电极组成，支撑框架设置于键合基板上方，支撑框架通过驱动组合梁连接驱动质量块，驱动质量块通过检测组合梁连接检测质量块，隧道磁阻元件设置在检测质量块上表面中心位置并与键合基板凹槽内沉积的检测磁体相对应，此装置整体结构设计合理紧凑，采用电磁驱动，隧道磁阻检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，且使用方便、可靠性好、适合微型化。
-
公开(公告)号：CN207197533U
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201721017277.0
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.014 seconds)
