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公开(公告)号：CN101526738A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910004485.0
申请日：2009-03-04
Applicant: 东进世美肯株式会社
Inventor： 朴廷敏 , 郑斗喜 , 李义国 , 金柄郁 , 金东敏
IPC: G03F7/012 , H01L21/84
CPC classification number: G03F7/0236
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含：由苯酚化合物制备的酚醛清漆树脂、双叠氮化合物和有机溶剂，其中间甲酚占所述苯酚化合物重量的约70重量％～约85重量％。
