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公开(公告)号:CN1892426A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610098739.6
申请日:2006-07-10
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0045
Abstract: 提供光刻胶组合物、使用该光刻胶组合物形成薄膜图案的方法、以及使用该光刻胶组合物制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在一个方式中,光刻胶组合物包括碱溶性树脂、光敏化合物以及添加剂,用于在通道区域有利地提供均匀的光刻胶。
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公开(公告)号:CN1892426B
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN200610098739.6
申请日:2006-07-10
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0045
Abstract: 提供光刻胶组合物、使用该光刻胶组合物形成薄膜图案的方法、以及使用该光刻胶组合物制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在一个方式中,光刻胶组合物包括碱溶性树脂、光敏化合物以及添加剂,用于在通道区域有利地提供均匀的光刻胶。
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