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公开(公告)号：CN106094447B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610670785.2
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种光刻机，具体涉及一种曝光装置可旋转的光刻机。包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时，X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接，实现平移，曝光装置设置在X轴靠后位置，曝光装置与电机连接，实现调节曝光装置与X轴的夹角，托盘与电机连接，曲面产品放置在托盘上，用设置在托盘的夹角固定，避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射，提高光刻的均匀性，实现光刻的高精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106094447A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610670785.2
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70066 , G03F7/7055
Abstract: 本发明涉及一种光刻机，具体涉及一种曝光装置可旋转的光刻机。包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时，X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接，实现平移，曝光装置设置在X轴靠后位置，曝光装置与电机连接，实现调节曝光装置与X轴的夹角，托盘与电机连接，曲面产品放置在托盘上，用设置在托盘的夹角固定，避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射，提高光刻的均匀性，实现光刻的高精度。
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公开(公告)号：CN106179815B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201610670916.7
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
Abstract: 本发明涉及一种喷涂机的喷涂方法，具体地，涉及一种喷涂更均匀，喷涂效率更高的喷涂机的喷涂方法，包括喷涂系统、工作平台、PLC控制系统，加热系统，所述喷涂系统包括角度可调节的喷头，所述喷头通过旋转机构连接在X轴滑动平台上；X轴滑动平台和Z轴滑动平台通过滑动连接，旋转机构与样品托盘连接，带动样品托盘绕中轴旋转，样品托盘上设有夹具，夹具与样品托盘固定，夹具用来固定待喷涂的曲面样品；所述加热系统包括加热器及温度传感器，加热器安装在样品托盘上，内置于曲面样品内部。本发明一种喷涂机的喷涂方法，可调节保持喷头与曲面相对垂直，喷头喷涂入射时，保持垂直入射到曲面样品表面，提高了喷涂的均匀性。
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公开(公告)号：CN106179815A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610670916.7
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
CPC classification number: B05B9/002 , B05B13/0431 , B05B15/70 , B05D1/02
Abstract: 本发明涉及一种喷涂机，具体地，涉及一种喷涂更均匀，喷涂效率更高的喷涂机，包括喷涂系统、工作平台、PLC控制系统，加热系统，所述喷涂系统包括角度可调节的喷头，所述喷头通过旋转机构连接在X轴滑动平台上；X轴滑动平台和Z轴滑动平台通过滑动连接，旋转机构与样品托盘连接，带动样品托盘绕中轴旋转，托盘上设有夹具，夹具与托盘固定，夹具用来固定待喷涂的样品；所述加热系统包括加热器及温度传感器，加热器安装在托盘上，内置与曲面样品内部。本发明一种喷涂机，可调节保持喷头与曲面相对垂直，喷头喷涂入射时，保持垂直入射到曲面样品表面，提高了喷涂的均匀性。
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公开(公告)号：CN206153024U
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201620884186.6
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种喷涂机，具体地，涉及一种喷涂更均匀，喷涂效率更高的喷涂机，包括喷涂系统、工作平台、PLC控制系统，加热系统，所述喷涂系统包括角度可调节的喷头，所述喷头通过旋转机构连接在X轴滑动平台上；X轴滑动平台和Z轴滑动平台通过滑动连接，旋转机构与样品托盘连接，带动样品托盘绕中轴旋转，托盘上设有夹具，夹具与托盘固定，夹具用来固定待喷涂的样品；所述加热系统包括加热器及温度传感器，加热器安装在托盘上，内置与曲面样品内部。本实用新型一种喷涂机，可调节保持喷头与曲面相对垂直，喷头喷涂入射时，保持垂直入射到曲面样品表面，提高了喷涂的均匀性。
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公开(公告)号：CN205958926U
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201620887356.6
申请日：2016-08-15
Applicant: 东莞同济大学研究院 , 东莞科伏精密制造有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型涉及一种光刻机，具体涉及一种曝光装置可旋转的光刻机。包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时，X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接，实现平移，曝光装置设置在X轴靠后位置，曝光装置与电机连接，实现调节曝光装置与X轴的夹角，托盘与电机连接，曲面产品放置在托盘上，用设置在托盘的夹角固定，避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射，提高光刻的均匀性，实现光刻的高精度。
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