双轴浮动定子线性平台
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102522356A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110421784.1

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明提出一种双轴浮动定子线性平台,其包括基座,基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置,以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台;所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时,所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。本发明的驱动电机动子推动所述工作台运动时,驱动电机的定子受到的反作用力不直接作用在平台的基座上,而是使定子朝向与所述工作台运动方向相反的方向滑动,从而避免了对基座的冲击,提高了线性平台定位精度和测量精度,能实现微米级的定位精度。

    双轴浮动定子线性平台
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102522356B

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201110421784.1

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明提出一种双轴浮动定子线性平台,其包括基座,基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置,以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台;所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时,所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。本发明的驱动电机动子推动所述工作台运动时,驱动电机的定子受到的反作用力不直接作用在平台的基座上,而是使定子朝向与所述工作台运动方向相反的方向滑动,从而避免了对基座的冲击,提高了线性平台定位精度和测量精度,能实现微米级的定位精度。

    双轴浮动定子线性平台
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202394848U

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201120527661.1

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本实用新型提出一种双轴浮动定子线性平台,其包括基座,基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置,以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台;所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时,所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。本实用新型的驱动电机动子推动所述工作台运动时,驱动电机的定子受到的反作用力不直接作用在平台的基座上,而是使定子朝向与所述工作台运动方向相反的方向滑动,从而避免了对基座的冲击,提高了线性平台定位精度和测量精度,能实现微米级的定位精度。

    单轴浮动线性平台
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202394545U

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201120527594.3

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本实用新型的单轴浮动线性平台包括基座,在基座上固定有驱动装置和可滑动的工作台;驱动装置包括定子基座,定子基座的两端固定有阻尼装置和柔性装置,在该阻尼装置和柔性装置之间可滑动地固定有驱动电机;该驱动电机的动子与工作台通过连接臂连接;工作台上还固定有记录所述工作台位移的位置反馈装置。本实用新型采用被动隔振方法,将驱动电机可滑动地安装在基座上,实现定子的浮动,并在驱动电机的定子与基座之间加入柔性装置和阻尼装置,大大地消弱了平台在启动或急停时产生的反作用力,有效地将运动的反作力引起的基座振动降到最低,提高了平台定位精度。

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