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公开(公告)号:CN103192279B
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201310077550.9
申请日:2013-03-11
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: B23Q1/34
Abstract: 本发明提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本发明利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现可靠的高刚度二维解耦定位运动。
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公开(公告)号:CN103219049A
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN201310068434.0
申请日:2013-03-04
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。
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公开(公告)号:CN103192279A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201310077550.9
申请日:2013-03-11
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: B23Q1/34
Abstract: 本发明提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本发明利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现可靠的高刚度二维解耦定位运动。
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公开(公告)号:CN103219049B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310068434.0
申请日:2013-03-04
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。
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公开(公告)号:CN203179557U
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201320098140.8
申请日:2013-03-04
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本实用新型提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本实用新型在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。
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公开(公告)号:CN203171265U
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201320110568.X
申请日:2013-03-11
Applicant: 东莞华中科技大学制造工程研究院
IPC: B23Q1/34
Abstract: 本实用新型提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本实用新型利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现高刚度二维解耦定位运动。
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