一种二维解耦运动平台
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103192279A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310077550.9

    申请日:2013-03-11

    Abstract: 本发明提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本发明利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现可靠的高刚度二维解耦定位运动。

    一种二维解耦运动平台
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103192279B

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201310077550.9

    申请日:2013-03-11

    Abstract: 本发明提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本发明利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现可靠的高刚度二维解耦定位运动。

    一种精密定位一维平台
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103219049A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310068434.0

    申请日:2013-03-04

    Abstract: 本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。

    串联式超高速精密定位一维平台

    公开(公告)号:CN103604028A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310603633.7

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明提供了一种串联式超高速精密定位一维平台,包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台,所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上,所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台,所属柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链,所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接,所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺,该串联式超高速精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。

    一种精密定位一维平台
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103219049B

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201310068434.0

    申请日:2013-03-04

    Abstract: 本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。

    串联式精密定位一维平台

    公开(公告)号:CN103604028B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201310603633.7

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明提供了一种串联式精密定位一维平台,包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台,所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上,所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台,所属柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链,所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接,所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺,该串联式精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。

    串联式超高速精密定位一维平台

    公开(公告)号:CN203615016U

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201320751959.X

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本实用新型提供了一种串联式超高速精密定位一维平台,包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台,所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上,所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台,所属柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链,所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接,所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺,该串联式超高速精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。

    一种精密定位一维平台
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203179557U

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201320098140.8

    申请日:2013-03-04

    Abstract: 本实用新型提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本实用新型在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。

    一种二维解耦运动平台
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203171265U

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201320110568.X

    申请日:2013-03-11

    Abstract: 本实用新型提出了一种二维解耦运动平台,包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台,移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台,横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器,横向柔性杆设置于横向移动平台四周,横向弹性件设置于横向移动平台一侧,横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置;纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器,纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周,纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧,纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本实用新型利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出,弹性件提高运动平台刚度,利用柔性机构传递运动,实现高刚度二维解耦定位运动。

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