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公开(公告)号：CN105102997A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201380074773.8
申请日：2013-03-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人东京大学
IPC: G01R31/34
CPC classification number: G01R29/14 , G01R15/242 , G01R31/1227 , G01R31/34 , G01R31/346
Abstract: 本发明提供一种表面电位分布测量装置(70)，其包括：激光光源(13)、具有锥面的泡克耳斯晶体(11)、反射镜、对经反射镜反射后的激光的光强进行检测的光检测器(16)、对泡克耳斯晶体(11)进行保持并移动的保持搭载部(30)、电压校正数据库、以及将与测试时输出电压相对应的输入电压确定为电场弛豫系统(3)的表面电位的运算部。泡克耳斯晶体(11)形成为横截面的大小沿着轴方向发生变化，保持搭载部(30)具有：保护泡克耳斯晶体(11)的结构的保护部(31)、为了测量电场弛豫系统(3)的表面电位而使泡克耳斯晶体(11)移动的移动部(35)、(36)、以及控制这些部件的驱动控制部(37)。
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公开(公告)号：CN106461707A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480079588.2
申请日：2014-06-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人 , 东京大学
CPC classification number: G01R15/242 , G01R19/00 , G01R29/14 , G01R31/34
Abstract: 三维表面电位分布测量装置(70)具有激光源(13)、Pockels结晶(11)、镜、光检测器(16)、一边维持它们的相互的位置关系一边保持它们的保持构造(31)、能够将保持构造(31)三维地移动驱动的移动驱动部、保持试验对象物(8)而能够以试验对象物(8)的长边方向为轴进行旋转驱动的旋转驱动部(35)、以及对移动驱动部以及旋转驱动部(35)进行控制的驱动控制部(37)。驱动控制部(37)一边将Pockels结晶(11)的端面和试验对象物(8)的表面的间隔保持为规定的间隔，一边协调基于移动驱动部的保持构造(31)的移动驱动动作和基于旋转驱动部(35)的试验对象物面接近试验对象物(8)的电场弛豫系统(3)的整个表面。(8)的旋转驱动动作，以使Pockels结晶(11)的端
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公开(公告)号：CN105102997B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201380074773.8
申请日：2013-03-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人 , 东京大学
IPC: G01R31/34
CPC classification number: G01R29/14 , G01R15/242 , G01R31/1227 , G01R31/34 , G01R31/346
Abstract: 本发明提供一种表面电位分布测量装置(70)，其包括：激光光源(13)、具有锥面的泡克耳斯晶体(11)、反射镜、对经反射镜反射后的激光的光强进行检测的光检测器(16)、对泡克耳斯晶体(11)进行保持并移动的保持搭载部(30)、电压校正数据库、以及将与测试时输出电压相对应的输入电压确定为电场弛豫系统(3)的表面电位的运算部。泡克耳斯晶体(11)形成为横截面的大小沿着轴方向发生变化，保持搭载部(30)具有：保护泡克耳斯晶体(11)的结构的保护部(31)、为了测量电场弛豫系统(3)的表面电位而使泡克耳斯晶体(11)移动的移动部(35)、(36)、以及控制这些部件的驱动控制部(37)。
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4.发明授权公开(公告)号：CN104024874B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201280057715.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: G01R31/34
CPC classification number: G01R29/14 , G01R15/242 , G01R31/1227 , G01R31/34
Abstract: 旋转电机的电场缓和系统(3)的表面电位分布测量装置(1)中，通过使用激光器(21)与电场缓和系统(3)的表面(测试部位(L))之间的泡克耳斯晶体(23)，从而被泡克耳斯晶体(23)与测试部位(L)之间的反射镜(24)反射的激光的光强度与泡克耳斯晶体(23)的第1端面与第2端面之间的电位差即输出电压相对应。另外，通过使用具有跟踪逆变器脉冲电压的高频分量的频带的光检测器(25)，从而即使在产生逆变器脉冲电压的情况下，也可利用光检测器(25)来检测出上述光
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公开(公告)号：CN108713149B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201680081323.5
申请日：2016-02-08
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人东京大学
Abstract: 一种测量测定对象的表面电位的三维表面电位分布测量系统(100)，具有：激光光源；普克尔斯晶体，具有折射率根据第1端面与第2端面之间的电位差的变化而变化的普克尔斯效应；镜，被设置成与第2端面接触；光检测器，检测与普克尔斯晶体的电位差对应的激光光束的光强度；框体(31)，保持以上部件；三维移动驱动装置(30)，能够三维地对框体(31)进行移动驱动；以及驱动控制部(50)，控制三维移动驱动装置(30)。
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公开(公告)号：CN106461707B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201480079588.2
申请日：2014-06-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人 , 东京大学
Abstract: 三维表面电位分布测量装置(70)具有激光源(13)、Pockels结晶(11)、镜、光检测器(16)、一边维持它们的相互的位置关系一边保持它们的保持构造(31)、能够将保持构造(31)三维地移动驱动的移动驱动部、保持试验对象物(8)而能够以试验对象物(8)的长边方向为轴进行旋转驱动的旋转驱动部(35)、以及对移动驱动部以及旋转驱动部(35)进行控制的驱动控制部(37)。驱动控制部(37)一边将Pockels结晶(11)的端面和试验对象物(8)的表面的间隔保持为规定的间隔，一边协调基于移动驱动部的保持构造(31)的移动驱动动作和基于旋转驱动部(35)的试验对象物(8)的旋转驱动动作，以使Pockels结晶(11)的端面接近试验对象物(8)的电场弛豫系统(3)的整个表面。
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公开(公告)号：CN108713149A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201680081323.5
申请日：2016-02-08
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人 , 东京大学
Abstract: 一种测量测定对象的表面电位的三维表面电位分布测量系统(100)，具有：激光光源；普克尔斯晶体，具有折射率根据第1端面与第2端面之间的电位差的变化而变化的普克尔斯效应；镜，被设置成与第2端面接触；光检测器，检测与普克尔斯晶体的电位差对应的激光光束的光强度；框体(31)，保持以上部件；三维移动驱动装置(30)，能够三维地对框体(31)进行移动驱动；以及驱动控制部(50)，控制三维移动驱动装置(30)。
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公开(公告)号：CN104024874A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201280057715.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人东京大学
IPC: G01R31/34
CPC classification number: G01R29/14 , G01R15/242 , G01R31/1227 , G01R31/34
Abstract: 旋转电机的电场缓和系统(3)的表面电位分布测量装置(1)中，通过使用激光器(21)与电场缓和系统(3)的表面(测试部位(L))之间的泡克耳斯晶体(23)，从而被泡克耳斯晶体(23)与测试部位(L)之间的反射镜(24)反射的激光的光强度与泡克耳斯晶体(23)的一个端面与另一个端面之间的电位差即输出电压相对应。另外，通过使用具有跟踪逆变器脉冲电压的高频分量的频带的光检测器(25)，从而即使在产生逆变器脉冲电压的情况下，也可利用光检测器(25)来检测出上述光强度。因此，表面电位分布测量装置(1)能够根据上述光强度(输出电压)来测量出设想产生逆变器脉冲电压时的电场缓和系统(3)的表面电位。
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