复合密封材料
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101384842A

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200780005242.8

    申请日:2007-02-08

    Inventor: 村松晃

    CPC classification number: F16J15/104 F16J15/062 F16J15/166 F16J15/3284

    Abstract: 本发明提供复合密封材料,该密封材料的特征在于,具备配置于密封槽2外周侧的、由弹性部件构成的第1密封部件6,和配置于密封槽2内周侧的、由较第1密封部件6更硬质的材料构成的第2密封部件8;第1密封部件6由其厚度方向近中部的径向内侧朝径向内部突出而形成横向凸部12的同时,第2密封部件8由两端部的法兰部14、16和连接该法兰部14、16的近似直线状的内壁部分18形成截面呈近似コ字状的形状;在第1密封部件6和第2密封部件8组装为一体的状态下,在横向凸部12和第2密封部件8的近似直线状的内壁部分18之间,确保有空腔20。

    复合密封材料
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101384842B

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200780005242.8

    申请日:2007-02-08

    Inventor: 村松晃

    CPC classification number: F16J15/104 F16J15/062 F16J15/166 F16J15/3284

    Abstract: 本发明提供复合密封材料,该密封材料的特征在于,具备配置于密封槽(2)外周侧的、由弹性部件构成的第1密封部件(6),和配置于密封槽(2)内周侧的、由较第1密封部件(6)更硬质的材料构成的第2密封部件(8);第1密封部件(6)由其厚度方向近中部的径向内侧朝径向内部突出而形成横向凸部(12)的同时,第2密封部件(8)由两端部的法兰部(14)、(16)和连接该法兰部(14)、(16)的近似直线状的内壁部分(18)形成截面呈近似コ字状的形状;在第1密封部件(6)和第2密封部件(8)组装为一体的状态下,在横向凸部(12)和第2密封部件(8)的近似直线状的内壁部分(18)之间,确保有空腔(20)。

    复合密封材料
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101023289B

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN200580031150.8

    申请日:2005-05-12

    CPC classification number: F16J15/062 F16J15/104 F16J15/166

    Abstract: 本发明提供可用于所谓“燕尾沟槽”,同时具有真空密封性能、耐等离子体性和耐腐蚀气体性等性能,即使反复使用真空密封性能也不会下降,使用时不会产生金属颗粒,而且可以容易地、低成本地制造的复合密封材料。压接复合密封材料10时,第1密封部件20的第1密封部30的膨出部28被压接而被赋予密封性的同时,第2密封部件24的第2延伸部36通过第1密封部件20的第1延伸部38被挤压于密封沟槽12的开口部16侧,第2密封部34上表面34a被压接而被赋予密封性。

    复合密封材料
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101023289A

    公开(公告)日:2007-08-22

    申请号:CN200580031150.8

    申请日:2005-05-12

    CPC classification number: F16J15/062 F16J15/104 F16J15/166

    Abstract: 本发明提供可用于所谓“燕尾沟槽”,同时具有真空密封性能、耐等离子体性和耐腐蚀气体性等性能,即使反复使用真空密封性能也不会下降,使用时不会产生金属颗粒,而且可以容易地、低成本地制造的复合密封材料。压接复合密封材料10时,第1密封部件20的第1密封部30的膨出部28被压接而被赋予密封性的同时,第2密封部件24的第2延伸部36通过第1密封部件20的第1延伸部38被挤压于密封沟槽12的开口部16侧,第2密封部34上表面34a被压接而被赋予密封性。

    复合密封件
    9.
    外观设计

    公开(公告)号:CN301374272S

    公开(公告)日:2010-11-03

    申请号:CN201030160417.7

    申请日:2010-04-13

    Designer: 村松晃

    Abstract: 本外观设计产品是一种复合密封件,适于在半导体制造装置中使用,如A-A剖视图所示,包括由弹性体制成的第一部材(套件1)和硬度大于弹性体第一部材由合成树脂制成的第二部材(套件2)。其设计要点在于复合密封件的形状造型。组合状态立体图为最能表明设计要点的图。组合状态后视图与组合状态主视图相同,省略组合状态后视图。组合状态仰视图与组合状态俯视图相同,省略组合状态仰视图。组合状态左视图与组合状态右视图相同,省略组合状态左视图。套件1后视图与套件1主视图相同,省略套件1后视图。套件1仰视图与套件1俯视图相同,省略套件1仰视图。套件1左视图与套件1右视图相同,省略套件1左视图。套件2后视图与套件2主视图相同,省略套件2后视图。套件2仰视图与套件2俯视图相同,省略套件2仰视图。套件2左视图与套件2右视图相同,省略套件2左视图。

    复合密封件
    10.
    外观设计

    公开(公告)号:CN301334783S

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN201030122933.0

    申请日:2010-02-09

    Designer: 村松晃

    Abstract: 本外观设计产品是一种复合密封件,适于在半导体制造装置中使用,包括由弹性体制成的第一部材(件1)和硬度大于弹性体第一部材由合成树脂制成的第二部材(件2)。其设计要点在于复合密封件的形状造型。立体图为最能表明设计要点的图。后视图与主视图相同,省略后视图。俯视图与仰视图相同,省略俯视图。左视图与右视图相同,省略左视图。件1后视图与件1主视图相同,省略件1后视图。件1俯视图与件1仰视图相同,省略件1俯视图。件1左视图与件1右视图相同,省略件1左视图。件2后视图与件2主视图相同,省略件2后视图。件2俯视图与件2仰视图相同,省略件2俯视图。件2左视图与件2右视图相同,省略件2左视图。

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