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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108562544A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810340660.2
申请日：2018-04-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01N21/03
Abstract: 本发明公开了一种可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底，衬底为柔性衬底，柔性衬底内设用于离子流动的通道；该可拉伸柔性液池的制作方法为：在基底上制作石墨烯层，在石墨烯层上制备柔性衬底，之后在柔性衬底中制作通道，去除基底，最后组装即得。本发明选用PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU-8双层膜作为柔性衬底，能够在应变下有效进行石墨烯的离子电流检测，具有简单实用、成本较低等特点；使用电子束刻蚀法来实现石墨烯悬空在PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU-8双层膜上的结构，既能保证石墨烯不会出现损伤，也能保证整个液池的完整性，不会出现渗漏。
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公开(公告)号：CN111777033A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010458652.5
申请日：2020-05-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种亚纳米级流体通道，包括开孔衬底，所述开孔衬底上开设孔，所述开孔衬底上贴覆有开槽二维材料，所述开槽二维材料开设通透槽，所述通透槽由开槽二维材料的内部延伸至边缘，所述开槽二维材料上设有上基板，所述开孔衬底、通透槽、上基板形成流体通道，并与孔连通；还公开了上述亚纳米级流体通道的制作方法。首先，本发明实现了稳定的亚纳米级的流体通道，流道高度可以低于1nm，便于对离子输运的机理做更进一步的研究；其次，可以根据流道高度需求，选择不同层数的开槽二维材料叠加，灵活控制流道高度；同时，该流体通道的制作方法，与传统的反应离子蚀刻方法相比，成本更低，操作更简便，能实现快速大批量制作。
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公开(公告)号：CN111704128A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010458450.0
申请日：2020-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: C01B32/194 , C01B21/064 , C01G39/06
Abstract: 本发明公开了一种基于有台阶衬底的二维材料转移方法，包括以下步骤：在衬底上制作二维材料层，旋涂PMMA，制作PDMS/PMMA/二维材料/衬底，蚀刻衬底上的氧化硅，释放PDMS/PMMA/二维材料，将待转移的二维材料与目标基底结合，溶解PMMA。本转移方法适用于平整衬底以及加电极等原因导致的存在台阶的衬底；同时，采用氢氧化钠溶液直接湿法刻蚀的方法，保证了二维材料，特别是石墨烯在转移过程中不会发生卷曲，从而提高了转移的成功率，降低成本；使用异丙醇而不是去离子水清洗蚀刻氧化硅后的二维材料，一是因为异丙醇易挥发，二是因为在二维材料与目标衬底结合并蚀刻PMMA时，异丙醇能增加二维材料与衬底的结合力，不会导致二维材料卷曲，偏移。
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公开(公告)号：CN111704128B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010458450.0
申请日：2020-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: C01B32/194 , C01B21/064 , C01G39/06
Abstract: 本发明公开了一种基于有台阶衬底的二维材料转移方法，包括以下步骤：在衬底上制作二维材料层，旋涂PMMA，制作PDMS/PMMA/二维材料/衬底，蚀刻衬底上的氧化硅，释放PDMS/PMMA/二维材料，将待转移的二维材料与目标基底结合，溶解PMMA。本转移方法适用于平整衬底以及加电极等原因导致的存在台阶的衬底；同时，采用氢氧化钠溶液直接湿法刻蚀的方法，保证了二维材料，特别是石墨烯在转移过程中不会发生卷曲，从而提高了转移的成功率，降低成本；使用异丙醇而不是去离子水清洗蚀刻氧化硅后的二维材料，一是因为异丙醇易挥发，二是因为在二维材料与目标衬底结合并蚀刻PMMA时，异丙醇能增加二维材料与衬底的结合力，不会导致二维材料卷曲，偏移。
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公开(公告)号：CN108562544B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201810340660.2
申请日：2018-04-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01N21/03
Abstract: 本发明公开了一种可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底，衬底为柔性衬底，柔性衬底内设用于离子流动的通道；该可拉伸柔性液池的制作方法为：在基底上制作石墨烯层，在石墨烯层上制备柔性衬底，之后在柔性衬底中制作通道，去除基底，最后组装即得。本发明选用PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜作为柔性衬底，能够在应变下有效进行石墨烯的离子电流检测，具有简单实用、成本较低等特点；使用电子束刻蚀法来实现石墨烯悬空在PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜上的结构，既能保证石墨烯不会出现损伤，也能保证整个液池的完整性，不会出现渗漏。
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