公开(公告)号：CN108562544B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201810340660.2

申请日：2018-04-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 毕可东 ,  齐晗 ,  赵伟玮 ,  张洪泽 ,  陈云飞

IPC: G01N21/03

Abstract: 本发明公开了一种可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底，衬底为柔性衬底，柔性衬底内设用于离子流动的通道；该可拉伸柔性液池的制作方法为：在基底上制作石墨烯层，在石墨烯层上制备柔性衬底，之后在柔性衬底中制作通道，去除基底，最后组装即得。本发明选用PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜作为柔性衬底，能够在应变下有效进行石墨烯的离子电流检测，具有简单实用、成本较低等特点；使用电子束刻蚀法来实现石墨烯悬空在PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU‑8双层膜上的结构，既能保证石墨烯不会出现损伤，也能保证整个液池的完整性，不会出现渗漏。

公开(公告)号：CN108562544A

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201810340660.2

申请日：2018-04-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 毕可东 ,  齐晗 ,  赵伟玮 ,  张洪泽 ,  陈云飞

IPC: G01N21/03

Abstract: 本发明公开了一种可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，上液池和下液池之间依次设有石墨烯层和衬底，衬底为柔性衬底，柔性衬底内设用于离子流动的通道；该可拉伸柔性液池的制作方法为：在基底上制作石墨烯层，在石墨烯层上制备柔性衬底，之后在柔性衬底中制作通道，去除基底，最后组装即得。本发明选用PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU-8双层膜作为柔性衬底，能够在应变下有效进行石墨烯的离子电流检测，具有简单实用、成本较低等特点；使用电子束刻蚀法来实现石墨烯悬空在PDMS/PMMA双层膜或PDMS/SU-8双层膜上的结构，既能保证石墨烯不会出现损伤，也能保证整个液池的完整性，不会出现渗漏。