公开(公告)号：CN106784056B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201611197584.1

申请日：2016-12-22

Applicant: 东南大学

Inventor： 王琦龙 ,  陈广甸 ,  翟雨生

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/113 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供了一种响应光谱可调节的新型光电探测器，其特征在于，器件结构自下而上依次为是绝缘衬底、栅极、第一绝缘隔离层、导电沟道层、金属源漏极、第二绝缘隔离层、等离激元金属纳米结构、电光晶体覆盖层及透明引出电极。器件利用外加电压调控电光晶体覆盖层的折射率，使得覆盖物的折射率随外电压的改变而改变，进而实现调控金属纳米结构的等离激元共振波长和探测器的响应波长。本探测器件结构可以通过电压调节响应光谱，易于小型化和微型化，将在光电子器件和光通讯领域有很好的应用前景。

公开(公告)号：CN106257692A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610617154.4

申请日：2016-07-29

Applicant: 东南大学

Inventor： 王琦龙 ,  翟雨生 ,  陈广甸 ,  李晓华

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/18 ,  G01J1/42

CPC classification number: H01L31/101 ,  G01J1/42 ,  H01L31/1876

Abstract: 本发明公开了一种基于金属等离激元结构热电子效应的偏振敏感型光电探测器，包括绝缘衬底、金属背栅电极、绝缘隔离层、沟道有源层、漏极、源极和等离激元共振对偏振光敏感的等离激元结构，沟道有源层的材料禁带宽度大于入射光的光子能量，等离激元结构为金属纳米结构；利用等离激元结构中的热电子产生对入射光偏振态的强烈依赖特性来实现光偏振信息的探测。本发明具有如下优势：1、利用等离激元结构可以无需外加光学元件(起偏器/检偏器)即可实现光偏振信息的探测，有利于器件的小型化和集成化；2、利用金属背栅电极既可以通过加偏置电压放大光电流，又可以使金属背栅结构与金属纳米等离激元结构形成超表面结构，增强光吸收，提高光电响应度。

公开(公告)号：CN106409938A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610947579.1

申请日：2016-10-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 王琦龙 ,  陈广甸 ,  翟雨生 ,  李裕培 ,  李晓华

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种基于锥形超表面结构的光伏型光电探测器及其制备方法，所述光电探测器包括自下而上依次设置的表面为三维纳米锥阵列结构的金属衬底、禁带宽度大于入射光子能量的半导体薄膜层、金属薄膜层。本发明提供一种制备这种基于锥形超表面结构的光伏型光电探测器的方法，制备方法包括在铝衬底上制备多孔阳极氧化铝薄膜，然后去除铝衬底表面的阳极氧化铝薄膜，然后再制备半导体薄膜层、金属薄膜层。该三层结构构成超表面结构，通过控制金属薄膜层厚度、半导体层材料厚度或者纳米锥的结构参数可以调控超吸收的吸收频段。此种光电探测器制备工艺简单，便于大面积制备，无需复杂的微纳加工技术，即可实现高效宽波段宽角度光电探测。

公开(公告)号：CN106409938B

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201610947579.1

申请日：2016-10-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 王琦龙 ,  陈广甸 ,  翟雨生 ,  李裕培 ,  李晓华

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于锥形超表面结构的光伏型光电探测器及其制备方法，所述光电探测器包括自下而上依次设置的表面为三维纳米锥阵列结构的金属衬底、禁带宽度大于入射光子能量的半导体薄膜层、金属薄膜层。本发明提供一种制备这种基于锥形超表面结构的光伏型光电探测器的方法，制备方法包括在铝衬底上制备多孔阳极氧化铝薄膜，然后去除铝衬底表面的阳极氧化铝薄膜，然后再制备半导体薄膜层、金属薄膜层。该三层结构构成超表面结构，通过控制金属薄膜层厚度、半导体层材料厚度或者纳米锥的结构参数可以调控超吸收的吸收频段。此种光电探测器制备工艺简单，便于大面积制备，无需复杂的微纳加工技术，即可实现高效宽波段宽角度光电探测。

公开(公告)号：CN106784056A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611197584.1

申请日：2016-12-22

Applicant: 东南大学

Inventor： 王琦龙 ,  陈广甸 ,  翟雨生

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/113 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01L31/1136 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/02327

Abstract: 本发明提供了一种响应光谱可调节的新型光电探测器，其特征在于，器件结构自下而上依次为是绝缘衬底、栅极、第一绝缘隔离层、导电沟道层、金属源漏极、第二绝缘隔离层、等离激元金属纳米结构、电光晶体覆盖层及透明引出电极。器件利用外加电压调控电光晶体覆盖层的折射率，使得覆盖物的折射率随外电压的改变而改变，进而实现调控金属纳米结构的等离激元共振波长和探测器的响应波长。本探测器件结构可以通过电压调节响应光谱，易于小型化和微型化，将在光电子器件和光通讯领域有很好的应用前景。