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公开(公告)号：CN116519177A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310345927.8
申请日：2023-04-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜溅射技术的组合式六维力传感器，包括传力台、十字梁、基座、顶盖、底盖和应变片；将24个应变片溅射在十字梁以及传力台上，形成6组惠斯通电桥，十字梁上5组，传力台上1组。所述六维力传感器的测量原理在于：当某一维度的力/力矩作用于传感器时，传力台‑十字梁弹性体结构发生形变，相应位置的应变片阻值发生变化，使得对应电桥的输出电压改变，通过测量电压的变化量即可获得该维度力/力矩的数值；测量灵敏度高，传感器的稳定性好，结构简单，易于加工。
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公开(公告)号：CN116358752A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310345931.4
申请日：2023-04-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种可实现溅射工艺的六维力传感器申字梁弹性体结构，包括主梁、第一浮动梁、第二浮动梁、方角和应变片；将24个应变片溅射在主梁和第一浮动梁上，形成多组惠斯通电桥，当某一维度的输入力/力矩作用于申字梁弹性体中心，使得传感器产生形变，相应位置的应变片阻值发生变化，进而使得对应电桥的输出电压发生改变，与此同时，由于结构的设计，其余维度的输出电压并不会明显改变，有效降低了维间耦合干扰，从而提高了传感器的测量精度。
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公开(公告)号：CN117606664A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311640560.9
申请日：2023-12-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01L5/1627
Abstract: 本发明公开了一种六维力传感器的阶梯型弹性梁，包括中心台、阶梯型主梁、浮动梁、轮缘和应变片；中心台通过阶梯型主梁与外侧的浮动梁连接，四角的轮缘与浮动梁相连；将24个应变片粘贴在阶梯型主梁上，形成6组惠斯通电桥，当某一维度的力/力矩作用于阶梯型弹性梁中心时，传感器发生形变，相应位置的应变片阻值发生变化，使得对应电桥的输出电压改变，通过测量电压的变化量即可获得该维度力/力矩的数值，结构简单、灵敏度高且维间耦合低。
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公开(公告)号：CN116337291A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310345929.7
申请日：2023-04-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种可实现溅射工艺的组合式高精度六维力传感器结构，包括十字梁、双U型梁、基座、顶盖、底盖和应变片，将24个应变片溅射在主梁上，形成6组惠斯通电桥，十字梁上3组，双U型梁上3组；所述六维力传感器的测量原理在于：某一维度的输入力/力矩通过施力孔作用于十字梁中心和双U型梁中心，使得传感器产生形变，相应位置的应变片阻值发生变化，进而使得对应电桥的输出电压发生改变。
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