一种无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN102432288A

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201110273945.7

    申请日:2011-09-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法主要应用于溶胶-凝胶法制备高电光系数的锆钛酸铅镧晶体薄膜,通过使用新型添加剂来抑制消除薄膜制备中的开裂现象。本发明添加剂制备不开裂的PLZT薄膜,主要是利用溶胶-凝胶法制备PLZT溶胶,之后用旋转涂覆法制备PLZT湿膜,再通过高温热处理来得到PLZT电光薄膜。通过新型添加剂曲拉通-x100的使用结合热处理方案,成功的抑制了PLZT薄膜在高温热处理时易开裂的现象。通过该方法制备出的PLZT薄膜表面质量良好,并且通过高温急速热处理后不会开裂,具有很好的表面性质。

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