折叠十字型太赫兹薄膜滤波器及制备方法

    公开(公告)号:CN107045157A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201710072393.0

    申请日:2017-02-09

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G02B5/204 G03F7/0007

    Abstract: 本发明公开了一种折叠十字型太赫兹薄膜滤波器,包括若干周期性排列的金属孔阵列和金属薄膜,金属孔阵列内嵌在金属薄膜里面。金属孔阵列的形状为折叠十字型,金属薄膜为镂空的单层金属镍薄膜。本发明还提供了该结构的制备方法。该结构基于孔阵列的金属网格单元之间相互耦合,金属中自由电子与入射电磁波发生共振,形成增强透射。该结构不仅具有在共振中心波长设计上的灵活性、很高的透过率等优点,同时折叠臂的引入使主共振峰更加远离衍射区,实现了在更大范围内良好的带外抑制,这极大的提升了滤波性能。

    一种多波长共振的等离子共振结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN103645160A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310660621.8

    申请日:2013-12-06

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种多波长共振的等离子共振结构及其制备方法,一种多波长共振的等离子共振结构,包括介质圆盘和金属圆盘,介质圆盘和金属圆盘交替叠加构成柱对称结构,金属圆盘的层数大于等于三层,所有金属圆盘的圆面面积和厚度均相等,介质圆盘的材料为光学透明介质,所有介质圆盘的圆面面积和厚度均相等,介质圆盘的圆面面积小于等于金属圆盘的圆面面积。一种多波长共振的等离子共振结构可以通过多层金属圆盘之间光场的相互耦合形成多个共振峰,共振峰的位置和强弱可以通过调节金属圆盘和介质圆盘的厚度以及圆面面积来调节。本发明还公开了其制备方法,工艺简便,只需要传统的纳米压印工艺与薄膜蒸镀工艺,重复性好,便于应用。

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