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公开(公告)号：CN115513329A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211344661.7
申请日：2022-10-31
Applicant: 东南大学
IPC: H01L31/109 , H01L31/18 , H01L31/0336 , H01L31/0352
Abstract: 本发明公开了一种近紫外‑可见光高灵敏响应的光探测器，所述光探测器以ZnO/Se核壳纳米棒阵列作为光电转换结构，每根所述ZnO纳米棒外均包裹有Se壳层。本发明还公开了上述近紫外‑可见光高灵敏响应的光探测器的制备方法，具体为：将蓝宝石衬底超声清洗后吹干，作为生长基底；通过磁控溅射法在蓝宝石衬底上沉积ZnO种子层；通过氧等离子体刻蚀ZnO种子层，刻蚀后通过高温气相沉积法在刻蚀后的ZnO种子层上生长ZnO纳米棒阵列；通过磁控溅射法在ZnO纳米棒外溅射一层Se壳层，在蓝宝石衬底上得到ZnO/Se核壳纳米棒阵列；在ZnO/Se核壳纳米棒阵列的两端焊接上电极，得到光探测器。
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