公开(公告)号：CN107119244A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710416241.8

申请日：2017-06-06

Applicant: 东南大学

Inventor： 涂益友 ,  李峰 ,  何晗 ,  徐文静 ,  袁梦琪 ,  蒋建清

IPC: C22F1/04 ,  C23C14/34

CPC classification number: C22F1/04 ,  C23C14/3414

Abstract: 本发明涉及金属材料加工技术领域，具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤：将超高纯铝板材于50℃～300℃下热轧，道次压下量控制在40％～50％；将热轧后的超高纯铝板材在100～300℃温度下保温0～1小时；然后进行冷轧，道次压下量控制在40％～50％，通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升，抑制板材的再结晶。最后进行100℃～300℃的再结晶退火。优点为通过此方法可以生产平均晶粒尺寸在200um以下，晶粒取向以(100)面为主的大尺寸靶材。

公开(公告)号：CN107119244B

公开(公告)日：2019-04-30

申请号：CN201710416241.8

申请日：2017-06-06

Applicant: 东南大学

Inventor： 涂益友 ,  李峰 ,  何晗 ,  徐文静 ,  袁梦琪 ,  蒋建清

IPC: C22F1/04 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及金属材料加工技术领域，具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤：将超高纯铝板材于50℃～300℃下热轧，道次压下量控制在40％～50％；将热轧后的超高纯铝板材在100～300℃温度下保温0～1小时；然后进行冷轧，道次压下量控制在40％～50％，通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升，抑制板材的再结晶。最后进行100℃～300℃的再结晶退火。优点为通过此方法可以生产平均晶粒尺寸在200um以下，晶粒取向以(100)面为主的大尺寸靶材。