公开(公告)号：CN116127887B

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202310402932.8

申请日：2023-04-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 周再发 ,  王九州 ,  徐昊 ,  黄庆安

IPC: G06F30/3308 ,  G06F30/3323 ,  G06F30/23

Abstract: 本发明提出了一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，将MEMS器件的线性物理过程和非线性物理过程分离，通过对MEMS器件线性物理过程进行系统识别，建立MEMS器件线性时不变传递函数模型。再将MEMS器件非线性物理过程通过硬件描述语言耦合到传递函数模型中，实现整个MEMS器件物理过程宏模型建模。最后，将硬件描述语言封装的完整MEMS器件宏模型，导入到IC仿真工具中进行系统级的协同仿真。本发明以MEMS电容式加速度计宏模型建模过程为例，介绍基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，其他类型器件也可进行相同的分析与建模。

公开(公告)号：CN116127887A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202310402932.8

申请日：2023-04-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 周再发 ,  王九州 ,  徐昊 ,  黄庆安

IPC: G06F30/3308 ,  G06F30/3323 ,  G06F30/23

Abstract: 本发明提出了一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，将MEMS器件的线性物理过程和非线性物理过程分离，通过对MEMS器件线性物理过程进行系统识别，建立MEMS器件线性时不变传递函数模型。再将MEMS器件非线性物理过程通过硬件描述语言耦合到传递函数模型中，实现整个MEMS器件物理过程宏模型建模。最后，将硬件描述语言封装的完整MEMS器件宏模型，导入到IC仿真工具中进行系统级的协同仿真。本发明以MEMS电容式加速度计宏模型建模过程为例，介绍基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，其他类型器件也可进行相同的分析与建模。

公开(公告)号：CN117494640A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311553391.5

申请日：2023-11-20

Applicant: 东南大学

Inventor： 周再发 ,  徐昊 ,  张浩东 ,  王九州 ,  黄庆安

IPC: G06F30/367 ,  G06F30/39 ,  G06F115/04

Abstract: 本发明公开一种基于物理场解析的MEMS器件宏模型构建方法，属于计算、推算或计数的技术领域。该方法将MEMS器件的多个物理场效应拆解分离，选择与MEMS器件的机械结构耦合程度最深的物理场作为主物理场，通过基于阶跃响应的系统辨识法对主物理场进行降阶，获得主物理场的状态空间模型。再通过行为方程对MEMS器件的其它物理场分别构建行为模型，最后利用Verilog‑A对状态空间模型与各行为模型进行描述和组装，最后获得MEMS器件的宏模型。本发明以二极管型MEMS皮拉尼真空传感器宏模型建模过程为例，介绍基于物理场解析的MEMS器件宏模型建模方法，其他类型器件也可进行相同的分析与建模。