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公开(公告)号：CN117539242A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311362621.X
申请日：2023-10-19
Applicant: 东南大学
IPC: G05D1/43 , G05D1/246 , G05D1/633 , G05D1/644 , G05D105/22
Abstract: 针对当前路径规划算法无法满足长距离自主规划的需求，本发明公开了一种融合全局平滑规划的局部路径动态规划方法。无人车根据任务解析得到需经过的全局路径点，结合事先构造的拓扑地图，初步得到一条全局路径，该路径经过三次样条插值处理，使得路径平滑程度满足车辆动力学要求，随后参考全局路径，融合高精定位信息和实时障碍物检测结果，在局部路径规划时使用考虑全局信息权重的DWA算法，完成实时局部动态路径规划与决策，当局部规划决策算法发现无可行路线时，更新拓扑地图关系并重规划全局参考路线，使得局部规划算法能够重新寻找到局部最优路径。
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公开(公告)号：CN109165400B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201810738661.2
申请日：2018-07-06
Applicant: 东南大学
IPC: G06F30/20 , G06F119/18
Abstract: 本发明公开了一种聚焦离子束刻蚀加工工艺参数的设计方法，该方法包括：（1）确定基底材料及扫描策略；（2）基础结构试加工；（3）建立聚焦离子束溅射刻蚀轮廓计算模型；（4）利用试加工的基础结构轮廓数据与粒子群优化算法对模型中实验环境相关参数进行优化与修正；（5）工艺参数预估与设计；（6）代入模型计算加工刻蚀轮廓；（7）根据误差调整相应工艺参数代入模型计算，并反复调整比对，将最终得到的最优工艺参数即为最终设计参数；本发明通过少量实验数据便可以使聚焦离子束刻蚀轮廓计算模型的参数得到校正以适应于当前的设备与工艺环境，进一步方便有效率的实现FIB工艺参数的设计与校正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109165400A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201810738661.2
申请日：2018-07-06
Applicant: 东南大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种聚焦离子束刻蚀加工工艺参数的设计方法，该方法包括：（1）确定基底材料及扫描策略；（2）基础结构试加工；（3）建立聚焦离子束溅射刻蚀轮廓计算模型；（4）利用试加工的基础结构轮廓数据与粒子群优化算法对模型中实验环境相关参数进行优化与修正；（5）工艺参数预估与设计；（6）代入模型计算加工刻蚀轮廓；（7）根据误差调整相应工艺参数代入模型计算，并反复调整比对，将最终得到的最优工艺参数即为最终设计参数；本发明通过少量实验数据便可以使聚焦离子束刻蚀轮廓计算模型的参数得到校正以适应于当前的设备与工艺环境，进一步方便有效率的实现FIB工艺参数的设计与校正。
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公开(公告)号：CN104924234A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510217689.8
申请日：2015-04-30
Applicant: 东南大学
IPC: B25B11/00
CPC classification number: B25B11/00
Abstract: 一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，包括底座、滑钉、紧固塞、组合滑钉和球底托片，提篮把手采用两竖杆一横梁结构，横梁中部设有圆弧细腰，底座上设有两条垂直分布的直线T型槽和一圈圆形T型槽，夹紧时先将半通直线T型槽内滑钉推至圆弧端面处，然后滑动全通直线T型槽内滑钉使其与刻蚀球两底孔距离一致，再将两滑钉压入刻蚀球底孔，最后将紧固塞推入全通直线T型槽顶紧滑钉直至不再移动，以此水平方向定位夹紧；组合滑钉在圆形T型槽内滑动待与刻蚀球侧孔位置一致后，将夹紧销钉插入刻蚀球侧孔，以此竖直方向夹紧球体；球底托片用于保护刻蚀球底面，装夹前用W型阿皮松蜡涂匀粘附于球底面。
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公开(公告)号：CN106495089B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201610976479.1
申请日：2016-10-31
Applicant: 东南大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀石英晶体少量晶面获取全晶面刻蚀速率的方法，包括获取约束晶面的实验刻蚀速率；建立Q‑RPF石英湿法刻蚀工艺表面原子移除概率函数并确定待优化目标参数；利用KMC动力学蒙特卡洛算法计算种群中各约束晶面模拟刻蚀速率；生成目标参数的初始优化种群并利用遗传算法不断优化各个体目标参数的取值；判断约束晶面仿真刻蚀速率和实验刻蚀速率是否实现拟合，满足则输出最优个体目标参数；不满足则将最优个体目标参数编码和遗传变异，生成下一代种群，进入新一轮循环；将最优个体目标参数代入KMC动力学蒙特卡洛湿法刻蚀半球模型，输出全晶面刻蚀速率。
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公开(公告)号：CN106495089A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610976479.1
申请日：2016-10-31
Applicant: 东南大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00428
Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀石英晶体少量晶面获取全晶面刻蚀速率的方法，包括获取约束晶面的实验刻蚀速率；建立Q-RPF石英湿法刻蚀工艺表面原子移除概率函数并确定待优化目标参数；利用KMC动力学蒙特卡洛算法计算种群中各约束晶面模拟刻蚀速率；生成目标参数的初始优化种群并利用遗传算法不断优化各个体目标参数的取值；判断约束晶面仿真刻蚀速率和实验刻蚀速率是否实现拟合，满足则输出最优个体目标参数；不满足则将最优个体目标参数编码和遗传变异，生成下一代种群，进入新一轮循环；将最优个体目标参数代入KMC动力学蒙特卡洛湿法刻蚀半球模型，输出全晶面刻蚀速率。
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公开(公告)号：CN104924234B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510217689.8
申请日：2015-04-30
Applicant: 东南大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，包括底座、滑钉、紧固塞、组合滑钉和球底托片，提篮把手采用两竖杆一横梁结构，横梁中部设有圆弧细腰，底座上设有两条垂直分布的直线T型槽和一圈圆形T型槽，夹紧时先将半通直线T型槽内滑钉推至圆弧端面处，然后滑动全通直线T型槽内滑钉使其与刻蚀球两底孔距离一致，再将两滑钉压入刻蚀球底孔，最后将紧固塞推入全通直线T型槽顶紧滑钉直至不再移动，以此水平方向定位夹紧；组合滑钉在圆形T型槽内滑动待与刻蚀球侧孔位置一致后，将夹紧销钉插入刻蚀球侧孔，以此竖直方向夹紧球体；球底托片用于保护刻蚀球底面，装夹前用W型阿皮松蜡涂匀粘附于球底面。
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