公开(公告)号：CN117330184A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202311167159.8

申请日：2023-09-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 黄晓东 ,  张鹏飞 ,  徐瑶瑶

IPC: G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种基于红外超表面的尾焰传感器及其制备方法，包括从上往下设置的红外超表面、导热绝缘层、电阻层、永磁体层、真空腔，发动机尾焰具有4.35μm特征波长的红外光被红外超表面吸收，并将吸收的光能转化为热能，热流通过导热绝缘层传递到电阻层，在永磁体层和热流的共同作用下，基于能斯脱效应在电阻层的左右两侧会产生电动势，从而可以实现对尾焰的检测。相比于传统的红外传感器，本发明的尾焰传感器无需外部供电，因此可以实现近零功耗的传感，且实现对外界杂散光源的隔离，有效提高了传感器的抗干扰能力，降低误报警概率。

公开(公告)号：CN117293215A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311167162.X

申请日：2023-09-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 黄晓东 ,  张鹏飞 ,  徐瑶瑶

IPC: H01L31/102 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的红外探测器及其制备方法，包括上下正对的两个腔体，上方腔体的底部设置具有光磁电效应的半导体材料形成的红外探测层，并在上方腔体顶部设有只允许特定波长的红外光透过并入射到红外探测层的超表面层，同时实现了对外界的杂散光源隔离和热隔离，有效提高了红外探测器的抗干扰能力。同时，两个腔体可以平衡红外探测层下两侧的压强，防止红外探测层因形变导致输出漂移，进一步提高光电探测器的灵敏度和抗干扰能力。本发明利用光磁电效应探测红外光信号，可以直接输出电压信号，无需外部供能，也无需制冷，同时本发明的红外探测器的制备过程完全兼容MEMS工艺，因此兼具低功耗和高集成度的特点。