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公开(公告)号:CN202881388U
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201220456849.6
申请日:2012-09-07
Applicant: 东华大学
IPC: C23C26/00
Abstract: 本实用新型涉及一种用于大气压等离子体聚合的装置,包括聚合反应系统、电源控制系统、进气系统,所述的聚合反应系统包括反应容器、反应基材、上电极、下电极,所述的反应容器内前部放置反应基材,反应容器外表面后部上方覆盖有上电极,下方覆盖有下电极;所述的反应容器前端设有出气管,后端通过进气管连接进气系统的溶液瓶;所述的进气系统包括溶液瓶、气瓶,所述的气瓶通过连接管连接溶液瓶。本实用新型可在大气压环境下,通过调节反应间隙的宽度、进气系统的气体流量,在反应基材上,等离子体聚合形成薄膜,并且能够选择不同的单体来进行等离子体聚合,从而形成多种薄膜,具有设计合理、结构清晰、操作简便、应用广泛等特点。
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公开(公告)号:CN201817548U
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201020572107.0
申请日:2010-10-22
Applicant: 东华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种用于表面改性和等离子体聚合的材料处理装置,包括反应系统、电源控制系统、进气系统和压强控制系统。反应系统包括反应腔、以及反应腔内的上电极、下电极、反应基材和石英玻璃;上电极和下电极之间设有反应基材;反应基材的上表面与上电极之间、下表面与下电极之间均设有石英玻璃;反应基材上开有进气口,边缘均匀开有出气口;出气口的直径小于进气口的直径;进气口通过接口与进气系统相连;压强控制系统与反应腔相连;电源控制系统分别与上电极和下电极相连。本实用新型设计合理,结构清晰,操作简便,应用广泛。
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