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公开(公告)号：CN202881388U
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201220456849.6
申请日：2012-09-07
Applicant: 东华大学
IPC: C23C26/00
Abstract: 本实用新型涉及一种用于大气压等离子体聚合的装置，包括聚合反应系统、电源控制系统、进气系统，所述的聚合反应系统包括反应容器、反应基材、上电极、下电极，所述的反应容器内前部放置反应基材，反应容器外表面后部上方覆盖有上电极，下方覆盖有下电极；所述的反应容器前端设有出气管，后端通过进气管连接进气系统的溶液瓶；所述的进气系统包括溶液瓶、气瓶，所述的气瓶通过连接管连接溶液瓶。本实用新型可在大气压环境下，通过调节反应间隙的宽度、进气系统的气体流量，在反应基材上，等离子体聚合形成薄膜，并且能够选择不同的单体来进行等离子体聚合，从而形成多种薄膜，具有设计合理、结构清晰、操作简便、应用广泛等特点。
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