一种用于超精密加工的Y型槽动静压气体轴承

    公开(公告)号:CN211525347U

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN202020010743.8

    申请日:2020-01-04

    Abstract: 本实用新型为了改善现有超精密加工技术中存在的传动部件与非传动部件间的摩擦消耗和主轴高负荷工作时运行稳定差引起的加工精度低的问题,采用动静压气体轴承,把动压气体轴承与静压气体轴承的优点相结合。所述气体轴承为空心圆柱体,空心圆柱体外表面沿外圆周均匀分布有两排进气孔,每个进气孔都连接一个节流小孔,节流小孔连通圆形均压槽,空心圆柱体的内表面沿圆周内壁中心加工4个断续式稳压槽,在空心圆柱体的内表面沿圆周内壁均匀加工有两排Y型槽,其对称分布在断续式稳压槽两侧。

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