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公开(公告)号：CN118033805A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410441622.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明提供一种基于回音壁微腔的在纤式结构、传感器及制作方法，属于微纳光子学领域。一种基于回音壁微腔的在纤式结构包括第一波导、第二波导、第三波导、三个回音壁微腔；第一波导的第一端为输入端/输出端，第一波导的第二端与第二波导的第一端错位熔接，第二波导的第二端与第三波导的第一端错位熔接，且偏移方向相同，偏移量相同；所述三个回音壁微腔嵌入在第二波导内，且在第二波导的两端之间，第三波导的第二端为输入端/输出端。本发明利用回音壁微腔制作在纤式结构，实现品质因子提升至105，法诺共振峰斜率达到100dB/nm以上，因此传感分辨率更高，可以提高测量的精准性，对于温度、应力等变化更加灵敏，更好的应用在传感器领域。
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公开(公告)号：CN118033805B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410441622.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明提供一种基于回音壁微腔的在纤式结构、传感器及制作方法，属于微纳光子学领域。一种基于回音壁微腔的在纤式结构包括第一波导、第二波导、第三波导、三个回音壁微腔；第一波导的第一端为输入端/输出端，第一波导的第二端与第二波导的第一端错位熔接，第二波导的第二端与第三波导的第一端错位熔接，且偏移方向相同，偏移量相同；所述三个回音壁微腔嵌入在第二波导内，且在第二波导的两端之间，第三波导的第二端为输入端/输出端。本发明利用回音壁微腔制作在纤式结构，实现品质因子提升至105，法诺共振峰斜率达到100dB/nm以上，因此传感分辨率更高，可以提高测量的精准性，对于温度、应力等变化更加灵敏，更好的应用在传感器领域。
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