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发明公开
一种基于扫频白光干涉的量块测量装置及测量方法审中-实审

公开(公告)号：CN116858104A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310834225.6

申请日：2023-07-07

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 徐肖凡 , 王毅 , 朱鹏程 , 马振鹤

IPC: G01B11/02 , G01B9/02 , G01B9/02055 , G01B9/02015 , G01B9/02004 , G01B3/30

Abstract: 本发明公开了一种基于扫频白光干涉的量块测量装置及测量方法，涉及量块测量技术领域，所述装置包括扫频激光器、第三分光棱镜、第一反射镜、第一分光棱镜、第二反射镜、待测量块、第三反射镜、第二分光棱镜、光电探测器、数据处理端，本发明采用高灵敏度、高稳定性、抗干扰能力强的绝对测量方法，一次测量即可得出量块的长度，测量操作简单，无需与标准量块进行比较，不受标准量块精度的限制，可用于较高等级量块的测量。

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