公开(公告)号：CN117533029A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311831365.4

申请日：2023-12-28

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 张力 ,  李嘉钰 ,  张路林 ,  吴天赐

IPC: B41K3/62

Abstract: 本发明提供一种全自由度微转印定位平台及转印检测装置，涉及微转印技术领域。包括五自由度定位平台装置、微力采集装置、工业相机、Z轴运动臂及安装在Z轴运动臂上的印章抓手和SMP印章，Z轴运动臂能使印章实现在Z轴方向上的移动，微转印定位平台能够满足微器件精确定位，从而提高转印精度，微力采集装置放置在微转印定位平台上，能够在显示器上显示实时采集转印过程中的微力值变化，工业相机与显示器相连，实现对转印过程图像的采集，最终将采集的数据和图像储存起来。本发明采用定位平台来保证转印过程高质量地完成，采用工业相机对转印是否成功，转印质量及转印效果进行判断，通过微力采集装置可以实时检测微力的变化。

公开(公告)号：CN116854028A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310851942.X

申请日：2023-07-12

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 张力 ,  张路林 ,  吴天赐 ,  谭政 ,  张冲

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及微转印技术领域，特别是涉及一种基于SMP疏水表面和振动控制液滴的微装配方法，该装配方法包括：印章控制调控阶段、微器件粘附拾取阶段、微器件释放阶段。该方法解决了SMP印章的粘附力小的缺点，提高拾取过程的效率和准确度，使用压电陶瓷振动提高释放效率，在目标基体上放置辅助液滴提高装配的准确度。装配装置包括：载物架、水平电控滑轨、源基体、控制线、温度控制器、控制器、数据传输总线、信号传输总线、温度报警器、升降台、工作台、压电陶瓷作动器支架、纵向电控滑轨、压电陶瓷作动器、加热装置、温度传感器、SMP印章支架、SMP印章、液滴、微电子器件、基座及目标基体，该装置结构简单，操作方便。