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公开(公告)号：CN117190903A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311088035.0
申请日：2023-08-28
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学检测技术领域，公开了一种白光干涉成像装置及方法。白光光源和单色光光源共同耦合经过准直透镜准直；分光棱镜将探测光分为样品光和参考光；参考光经过透镜聚焦于参考镜，参考光经过参考镜的反射沿原路返回；样品光经过色散物镜聚焦于样品，经样品反射回来的样品光经过准直透镜准直后和反射的参考光汇合于分光棱镜，并经过分光棱镜分别进入到两个采集端口；移动平台改变被测样品和参考镜之间的光程差。本发明结合单色光和白光光源，使用两个采集端口接受干涉信号，利用单色光单一波长的性质来调节白光干涉的解调高度，修正泄漏采样点，提高测量精度。解决了目前白光干涉技术采集速度和测量精度相互矛盾的问题。
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