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公开(公告)号：CN105088312B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201510514087.9
申请日：2015-08-20
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明公开了一种二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)第一次预处理；(2)第一次阳极氧化反应；(3)第二次预处理；(4)第二次阳极氧化反应。本发明提供的二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，通过两次阳极氧化反应过程，控制优选的工艺参数，制备得到的二氧化钛纳米管阵列薄膜的纳米管排列规则、结构完整、表面形貌优异，所得纳米管大小均匀，管长较长，管径较大，壁厚均匀。本发明的制备方法操作简单，条件温和，易控制，节约反应时间，减少成本；避免了纳米管顶端倒伏的发生。
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公开(公告)号：CN106958008A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710089165.4
申请日：2017-02-20
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0036 , C23C14/083
Abstract: 本发明公开了一种通过直流磁控溅射法制备氧化钽薄膜的方法，包括以下步骤：取经过预处理的基材放入磁控溅射仪的反应室中，反应室抽真空后，充入纯度为99.95％的Ar作为工作气体和纯度为99.95％的O2作为反应气体，调节溅射工作气压，设置溅射功率，溅射Ta靶材，在基材上获得氧化钽薄膜。本发明提供的一种通过直流磁控溅射法制备氧化钽薄膜的方法，所得TaOx薄膜具有优良的离子传输性能、低的电导率和较高的透过率。氧化钽膜层致密性良好。
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公开(公告)号：CN105129846A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510513836.6
申请日：2015-08-20
Applicant: 东北大学
IPC: C01G23/047 , C03C17/23 , H01G9/20
CPC classification number: Y02E10/542
Abstract: 本发明公开了一种二氧化钛纳米管/纳米带复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)二氧化钛纳米管薄膜的制备；(2)前驱体溶胶的配制；(3)二氧化钛纳米管/纳米带复合薄膜的制备。所制备得到的复合薄膜可以用于染料敏化太阳能电池中。本发明提供的二氧化钛纳米管/纳米带复合薄膜的制备方法原料易得，制备条件温和，易控制，操作简单，节约时间，节省成本。制备得到的复合薄膜能够用于染料敏化太阳能电池领域。复合薄膜由于纳米带带状结构的存在增大了比表面积；由于纳米管的存在从而具有了有序管状结构，同时纳米带也具有一定的取向，因而染料分子更易吸附于复合薄膜上，对电子的传输效率更高，其光电转化效率从而得以提升。
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公开(公告)号：CN105088312A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510514087.9
申请日：2015-08-20
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明公开了一种二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)第一次预处理；(2)第一次阳极氧化反应；(3)第二次预处理；(4)第二次阳极氧化反应。本发明提供的二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，通过两次阳极氧化反应过程，控制优选的工艺参数，制备得到的二氧化钛纳米管阵列薄膜的纳米管排列规则、结构完整、表面形貌优异，所得纳米管大小均匀，管长较长，管径较大，壁厚均匀。本发明的制备方法操作简单，条件温和，易控制，节约反应时间，减少成本；避免了纳米管顶端倒伏的发生。
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