公开(公告)号：CN110005603A

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201910330376.1

申请日：2019-04-23

Applicant: 东北大学

Inventor： 刘坤 ,  陈忆闽 ,  杨浩南 ,  于子靖 ,  袁熙 ,  张平燚

IPC: F04B51/00

Abstract: 本发明涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。该微型真空泵抽气性能测试装置包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；第一密封罩与第二密封罩连通，第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；第一阀门设置于第一密封罩与所第二密封罩之间；第二阀门设置于第二密封罩的出口端；密封容器的入口端用于与待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体；计量单元用于称量所述密封容器重量；测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。本发明提供的微型真空泵抽气性能自动测试装置及方法，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。

公开(公告)号：CN110005603B

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201910330376.1

申请日：2019-04-23

Applicant: 东北大学

Inventor： 刘坤 ,  陈忆闽 ,  杨浩南 ,  于子靖 ,  袁熙 ,  张平燚

IPC: F04B51/00

Abstract: 本发明涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。该微型真空泵抽气性能测试装置包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；第一密封罩与第二密封罩连通，第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；第一阀门设置于第一密封罩与所第二密封罩之间；第二阀门设置于第二密封罩的出口端；密封容器的入口端用于与待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体；计量单元用于称量所述密封容器重量；测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。本发明提供的微型真空泵抽气性能自动测试装置及方法，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。