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公开(公告)号：CN108858251B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201811000384.1
申请日：2018-08-30
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种高速运动机械手的防碰撞系统，包括高速视觉捕捉硬件系统、快速识别跟踪定位系统、初始化参照表模块、晶圆参照表对比模块、机械手标记检测模块和预警模块；获取正常工作中一工作节拍视频，制作搭载晶圆机械手位置、速度、加速度和时间关系表；通过视觉捕捉硬件系统和识别跟踪定位系统获得晶圆圆心位置坐标、速度和加速度信息，对比初始化参照表模块中存储数据；在晶圆边缘两侧固定位置做标记，通过获得机械手上的标记点有无信息，确定晶圆与机械手托持结构的相对位置关系；根据计算出的晶圆位置运动状态和建立的参照表，计算运动状态的差值，超过设定阈值启动碰撞预警装置。本发明低成本、高精确地实现高速运动物体碰撞视觉检测，具有通用性。
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公开(公告)号：CN108858251A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201811000384.1
申请日：2018-08-30
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种高速运动机械手的防碰撞系统，包括高速视觉捕捉硬件系统、快速识别跟踪定位系统、初始化参照表模块、晶圆参照表对比模块、机械手标记检测模块和预警模块；获取正常工作中一工作节拍视频，制作搭载晶圆机械手位置、速度、加速度和时间关系表；通过视觉捕捉硬件系统和识别跟踪定位系统获得晶圆圆心位置坐标、速度和加速度信息，对比初始化参照表模块中存储数据；在晶圆边缘两侧固定位置做标记，通过获得机械手上的标记点有无信息，确定晶圆与机械手托持结构的相对位置关系；根据计算出的晶圆位置运动状态和建立的参照表，计算运动状态的差值，超过设定阈值启动碰撞预警装置。本发明低成本、高精确地实现高速运动物体碰撞视觉检测，具有通用性。
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公开(公告)号：CN108274469B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201810365980.3
申请日：2018-04-23
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，包括：真空机械手设备系统；x‑y轴高清监测摄像头，用于检测真空机械手x‑y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机械手伸缩轴方向上的位置变化。本发明所述的基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，通过建立视觉系统并向控制系统实时反馈真空机械手的位置、速度、加速度等信息，当真空机械手的位置状态异常出现在安全警戒区域时，视觉系统向控制系统发送异常警示信号，使控制系统能够及时控制停止当前机械手的运作，从而保证设备系统的安全，尽可能避免相应的潜在损失。
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公开(公告)号：CN108274469A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810365980.3
申请日：2018-04-23
Applicant: 东北大学
CPC classification number: B25J9/1666 , B25J19/023
Abstract: 本发明公开了一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统及检测方法，包括：真空机械手设备系统；x-y轴高清监测摄像头，用于检测真空机械手x-y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机械手伸缩轴方向上的位置变化。本发明所述的基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统及检测方法，通过建立视觉系统并向控制系统实时反馈真空机械手的位置、速度、加速度等信息，当真空机械手的位置状态异常出现在安全警戒区域时，视觉系统向控制系统发送异常警示信号，使控制系统能够及时控制停止当前机械手的运作，从而保证设备系统的安全，尽可能避免相应的潜在损失。
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