公开(公告)号：CN103430624A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201280011161.X

申请日：2012-03-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  国立大学法人九州大学

Inventor： 江面知彦 ,  安达千波矢 ,  松波成行

IPC: H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/0008 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/3281 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明的目的在于不使用阴影掩膜板而利用蒸镀法在基板上高效率地分涂形成多个线状薄膜。该蒸镀装置作为基板结构具有：以能够搬入搬出的方式收容处理对象的玻璃基板（S）的处理室（腔室）（10）；在该处理室（10）内保持基板（S）并使其在水平的一个方向（X方向）上移动的移动机构（12）；分别使多种（例如7种）有机物层的原料或成膜材料个别地蒸发而生成原料气体的蒸发机构（14）；从该蒸发机构（14）接收上述多种（7种）原料气体，将这些原料气体向移动的基板（S）喷出的原料气体喷出部（16）；和控制装置内的各部分和整体的状态、模式或动作的控制器（18）。

公开(公告)号：CN103619858A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280031270.8

申请日：2012-06-22

Applicant: 国立大学法人九州大学

Inventor： 张其胜 ,  安达千波矢 ,  松波成行 ,  坂上惠

IPC: C07F9/53 ,  C09K11/06 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/005 ,  C07F9/5045 ,  C07F9/5325 ,  C07F9/5329 ,  C07F9/5728 ,  C07F9/58 ,  C07F9/65517 ,  C07F9/655354 ,  C07F15/0033 ,  C09K11/06 ,  C09K2211/1007 ,  C09K2211/1014 ,  H01L51/008 ,  H01L51/0085 ,  H01L51/009 ,  H01L51/0091 ,  H01L51/5016 ,  H01L51/5072 ,  H05B33/14

Abstract: 下述通式所示的化合物作为电荷输送材料具有优异的特性[式中，R1～R3表示取代基，n1和n2表示0～5的整数，n3表示0～4的整数，X表示由-O-、-S-、-SO2-、-CS-、-R4-、-C(R5)(R6)-、-PO(R7)-、-Si(R8)(R9)-、>PO-、>Si(R10)-或者>Si