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公开(公告)号：CN114388413A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111176584.4
申请日：2021-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/205 , C23C16/455
Abstract: 本公开提供一种舟搬入方法和热处理装置，能够在抑制了基底膜的氧化的状态下进行成膜。基于本公开的一个方式的舟搬入方法是用于将保持有基板的舟搬入处理容器内的方法，所述舟搬入方法包括以下工序：向所述处理容器内供给还原性气体；以及在所述处理容器内存在所述还原性气体的状态下将所述舟搬入所处理容器内。
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