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公开(公告)号：CN102376547A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110241692.5
申请日：2011-08-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种涂覆装置以及喷嘴的维护方法，其防止在喷嘴内的流路内的异物的附着、并在对被处理基板涂覆处理液时从狭缝状的喷嘴喷出口均匀地喷出处理液。从喷嘴的喷出口向基板(G)喷出处理液并形成涂覆膜的涂覆装置(1)包括：喷嘴(16)，其从狭缝状的喷出口(16a)喷出处理液；维护部件(26)，其在喷嘴的待机期间保持喷嘴内的流路中被从处理液置换成处理液的溶剂(T)的状态，维护部件包括向喷嘴供给溶剂的溶剂供给部件(33、34)、在与喷嘴的喷出口之间形成规定的间隙的液保持面(28a)，在待机期间，以向液保持面喷出规定量的溶剂的状态保持喷嘴，溶剂相对于喷嘴的界面(T1)形成在喷嘴的外表面。
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