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公开(公告)号：CN110379699A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910292546.1
申请日：2019-04-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，能够减少调制高频电力的反射。在一个实施方式的等离子体处理装置中，高频电源构成为输出以以下方式生成的调制高频电力，第一期间的电力水平比与第一期间交替的第二期间的电力水平高。匹配器构成为将第一期间内的监视期间的高频电源的负载侧的阻抗设定为与高频电源的输出阻抗不同的阻抗。监视期间是在从第一期间的开始时间点起经过规定时间长度后开始的期间。高频电源构成为，调整调制高频电力的电力水平，以使行波的电力水平与反射波的电力水平之差、即负载功率水平成为指定的电力水平。
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