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公开(公告)号：CN110379700B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910293114.2
申请日：2019-04-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。
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公开(公告)号：CN106941067B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610873947.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明根据高频电源的负载侧的阻抗的变动适当且高速地调整高频电力的频率。在一实施方式的方法中，由等离子体处理装置的高频电源开始与第一期间中的功率相比，与该第一期间交替反复的第二期间中的功率设定得小的调制高频电力的输出。接着，取得过去的第一期间内的第一副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值和过去的第一期间内的第二副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值。接着，第一副期间的调制高频电力的频率和第二副期间的调制高频电力的频率根据移动平均值被设定。
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公开(公告)号：CN110379700A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910293114.2
申请日：2019-04-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。
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公开(公告)号：CN110379699A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910292546.1
申请日：2019-04-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，能够减少调制高频电力的反射。在一个实施方式的等离子体处理装置中，高频电源构成为输出以以下方式生成的调制高频电力，第一期间的电力水平比与第一期间交替的第二期间的电力水平高。匹配器构成为将第一期间内的监视期间的高频电源的负载侧的阻抗设定为与高频电源的输出阻抗不同的阻抗。监视期间是在从第一期间的开始时间点起经过规定时间长度后开始的期间。高频电源构成为，调整调制高频电力的电力水平，以使行波的电力水平与反射波的电力水平之差、即负载功率水平成为指定的电力水平。
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公开(公告)号：CN106941067A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201610873947.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32091 , H01J37/32165 , H01J37/32183 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明根据高频电源的负载侧的阻抗的变动适当且高速地调整高频电力的频率。在一实施方式的方法中，由等离子体处理装置的高频电源开始与第一期间中的功率相比，与该第一期间交替反复的第二期间中的功率设定得小的调制高频电力的输出。接着，取得过去的第一期间内的第一副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值和过去的第一期间内的第二副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值。接着，第一副期间的调制高频电力的频率和第二副期间的调制高频电力的频率根据移动平均值被设定。
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