公开(公告)号：CN108293292A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201780004093.7

申请日：2017-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 森嶋雅人 ,  岩渕胜彦 ,  布濑晓志 ,  藤本円华 ,  西出大亮

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/312

Abstract: 等离子电极(30)具备中间电极板(60)、接地板(40)以及被配置在中间电极板(60)与接地板(40)之间的中间绝缘板(50)。中间电极板(60)的凸部(61)被配置于接地板(40)的贯通孔(42)以及中间绝缘板(50)的贯通孔(52)的内侧。被设置在凸部(61)的中心轴的贯通孔(62)或者被设置在贯通孔(42)的周围的贯通孔(41)的任意一方将第一处理气体向接地板(40)的下方排出。贯通孔(62)或者贯通孔(41)的任意另一方排出接地板(40)的下方的气体。凸部(61)的周围的第二流路对凸部(61)的外侧壁与贯通孔(42)的内侧壁之间的间隙供给经由第一流路(68)所供给的第二处理气体。供给到该间隙的第二处理气体通过施加到中间电极板(60)的高频电力而在该间隙内被等离子化。

公开(公告)号：CN108293292B

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201780004093.7

申请日：2017-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 森嶋雅人 ,  岩渕胜彦 ,  布濑晓志 ,  藤本円华 ,  西出大亮

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/312

Abstract: 等离子电极(30)具备中间电极板(60)、接地板(40)以及被配置在中间电极板(60)与接地板(40)之间的中间绝缘板(50)。中间电极板(60)的凸部(61)被配置于接地板(40)的贯通孔(42)以及中间绝缘板(50)的贯通孔(52)的内侧。被设置在凸部(61)的中心轴的贯通孔(62)或者被设置在贯通孔(42)的周围的贯通孔(41)的任意一方将第一处理气体向接地板(40)的下方排出。贯通孔(62)或者贯通孔(41)的任意另一方排出接地板(40)的下方的气体。凸部(61)的周围的第二流路对凸部(61)的外侧壁与贯通孔(42)的内侧壁之间的间隙供给经由第一流路(68)所供给的第二处理气体。供给到该间隙的第二处理气体通过施加到中间电极板(60)的高频电力而在该间隙内被等离子化。