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公开(公告)号：CN114830323A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080085825.1
申请日：2020-12-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 艾恩华·罗莫内格雷拉 , 河野有美子 , 迪纳·特约索
IPC: H01L21/768 , H01L21/02 , H01L21/3105
Abstract: 披露了一种衬底加工方法，其包括提供包含金属表面和介电材料表面的衬底，在该金属表面上选择性地形成包含自组装单层的牺牲覆盖层，去除该牺牲覆盖层以恢复该金属表面，以及加工该恢复的金属表面和该介电材料表面。该牺牲覆盖层可以用于防止金属扩散到介电材料中，并防止在等待进一步加工该衬底的同时该金属表面的氧化和污染。
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