公开(公告)号：CN118507415A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410172965.2

申请日：2024-02-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 元田公男 ,  菅川贤治 ,  小滨范史 ,  福岛秀行 ,  杉原绅太郎 ,  和田宪雄

IPC: H01L21/683

Abstract: 本公开提供一种基板处理装置和基板载置方法，能够改善基板的残余应力的分布来适当地保持基板。基板处理装置具备保持部，该保持部的用于吸附基板的吸附面具有圆状的中央区域、以及配置在比中央区域靠外侧的位置的圆环状的外侧区域。保持部具有：第一吸附压力产生部，其用于在中央区域产生使基板吸附于保持部的吸附压力；以及第二吸附压力产生部，其用于在外侧区域产生使基板吸附于保持部的吸附压力。另外，保持部具有外力施加部，该外力施加部用于在外侧区域对基板施加使该基板远离保持部的方向的外力。

公开(公告)号：CN117712010A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202311151736.4

申请日：2023-09-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福岛秀行 ,  崔万柱

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/50

Abstract: 本公开提供一种接合装置和接合方法，能够将两张基板更高精度地接合。接合装置具备第一保持部、第二保持部、吸附压力产生部、推动部、以及控制部。控制部在开始通过推动部按压第一基板时，使得按照针对多个区域的每个区域设定的开始时吸附压力分布吸附第二基板。控制部在从开始通过推动部按压的开始时间点起到第一基板的接合面的整个面与第二基板的接合面的整个面接触的接触结束时间点为止的期间，进行从开始时吸附压力分布切换为进展时吸附压力分布的控制。进展时吸附压力分布是相对于开始时吸附压力分布中的多个区域的吸附压力变更了至少一个区域的吸附压力的分布。

公开(公告)号：CN119487628A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202380051432.2

申请日：2023-08-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福岛秀行 ,  小滨范史

IPC: H01L21/683

Abstract: 基板处理装置具备：保持部，在所述保持部的用于吸附基板的吸附面具有圆状的中央区域、以及配置于比中央区域靠外侧的位置的圆环状的外侧区域；吸附压力产生部，其使中央区域、设定于外侧区域的周向上的一个部位的外侧第一区以及设定于外侧区域的周向上的与外侧第一区不同的部位的外侧第二区相独立地产生吸附压力；以及控制部，其控制吸附压力产生部。控制部根据基板的翘曲状态来在外侧中央模式和中央外侧模式间进行选择，外侧中央模式是以外侧第一区、中央区域的顺序产生吸附压力的模式，中央外侧模式是以中央区域、外侧第一区的顺序产生吸附压力的模式。

公开(公告)号：CN118507416A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410172970.3

申请日：2024-02-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 藤原慎 ,  菅川贤治 ,  福岛秀行 ,  小滨范史 ,  池本大辅

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供基板处理装置和基板载置方法，能够改善基板的应力的分布来适当地保持基板。基板处理装置具备保持部，该保持部在吸附基板的吸附面具有圆状的中央区域和配置于中央区域的外侧的圆环状的外侧区域。另外，基板处理装置具备：吸附压力产生部，其使中央区域和沿着外侧区域的周向对该外侧区域进行分割得到的多个分区的各个分区独立地产生吸附压力；以及变形部，其使保持部的中央区域相对于该保持部的外缘移位。基板处理装置的控制部对以下工序进行控制：工序(A)，基于基板的翘曲状态至少使外侧区域的多个分区的一部分分区产生吸附压力来使基板吸附于吸附面；以及工序(B)，在工序(A)之后，一边继续进行工序(A)，一边使吸附面变形。

公开(公告)号：CN116169032A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202211436039.9

申请日：2022-11-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福岛秀行

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种接合装置和接合方法。接合装置将第一基板与第二基板进行接合。接合装置具备第一保持部、第二保持部、移动部、第一变形部、第二变形部及控制部。第一保持部从第一基板的上方吸附并保持第一基板。第二保持部在比第一保持部更靠下方的位置从第二基板的下方吸附并保持第二基板。移动部使第一保持部和第二保持部相对地移动。第一变形部使保持于第一保持部的第一基板的中央部向下方突出。第二变形部使保持于第二保持部的第二基板的中央部向上方突出。控制部通过控制移动部、第一变形部以及第二变形部，来进行使第一基板与第二基板的中央部彼此接触的控制。控制部进行根据第二基板的中央部的突出量来变更第一基板的中央部的突出量的控制。