公开(公告)号：CN101128835B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN200580019937.2

申请日：2005-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 乔格·比斯彻夫 ,  牛新惠

IPC: G06G7/48 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01B11/24

Abstract: 通过定义结构的初始模型而产生模拟衍射信号，所述模拟衍射信号用于使用光学计量对晶片上形成的结构的形状粗糙度进行测量。定义了形状粗糙度的统计函数。根据统计函数导出统计微扰并叠加在结构的初始模型上以定义结构的修改模型。根据结构的修改模型产生模拟衍射信号。

公开(公告)号：CN101128835A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200580019937.2

申请日：2005-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 乔格·比斯彻夫 ,  牛新惠

IPC: G06G7/48 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01B11/24

Abstract: 通过定义结构的初始模型而产生模拟衍射信号，所述模拟衍射信号用于使用光学计量对晶片上形成的结构的形状粗糙度进行测量。定义了形状粗糙度的统计函数。根据统计函数导出统计微扰并叠加在结构的初始模型上以定义结构的修改模型。根据结构的修改模型产生模拟衍射信号。