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公开(公告)号：CN118143982A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202311600743.8
申请日：2023-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制末端执行器上的基片的位置偏移的垫和末端执行器。本发明的末端执行器用的垫包括基部和主部。主部在第1方向上与基部相连。主部包括下表面、第1端、第2端和上表面。下表面在与第1方向交叉的方向上从基部伸出。第1端为主部的在与第1方向正交的第2方向上的一端。第2端为主部的在第2方向上的另一端。第2端使主部和垫在第2方向上终止。包括下表面的基准面与上表面之间的距离，随着从第1端向第2端去而增加。上表面在第2端相对于基准面具有最大的高度。主部具有弹性。主部在第2端的下方形成有空间。
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