公开(公告)号：CN112655076A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201980058555.2

申请日：2019-09-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 柏崎真克 ,  石田寿文 ,  佐佐木良 ,  加藤武宏

IPC: H01L21/3065 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/683 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明载置台包括：基片载置部件，其具有载置被处理基片的载置面；支承基片载置部件的支承部件；致冷剂流路，其在支承部件的内部沿载置面形成，在与配置于载置面侧的顶面相反一侧的底面设置有致冷剂的导入口；以及隔热部件，其至少具有覆盖顶面中的与导入口相对的部分的第一面状部和覆盖致冷剂流路弯曲的部分的内侧面的第二面状部。

公开(公告)号：CN112655076B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN201980058555.2

申请日：2019-09-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 柏崎真克 ,  石田寿文 ,  佐佐木良 ,  加藤武宏

IPC: H01L21/3065 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/683 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明载置台包括：基片载置部件，其具有载置被处理基片的载置面；支承基片载置部件的支承部件；致冷剂流路，其在支承部件的内部沿载置面形成，在与配置于载置面侧的顶面相反一侧的底面设置有致冷剂的导入口；以及隔热部件，其至少具有覆盖顶面中的与导入口相对的部分的第一面状部和覆盖致冷剂流路弯曲的部分的内侧面的第二面状部。