公开(公告)号：CN101413791B

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200810213950.7

申请日：2008-08-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 刘维 ,  李世芳 ,  杨维东

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24 ,  G03F7/70625

Abstract: 本发明涉及在光学计量中用近似和精细衍射模型确定结构的轮廓参数，提供了一种通过使用光学计量模型确定结构的一个或多个轮廓参数的方法，该光学计量模型包括轮廓模型、近似衍射模型和精细衍射模型。根据所述结构的近似衍射模型产生模拟近似衍射信号。通过从每个模拟精细衍射信号减去所述模拟近似衍射信号获得一组差值衍射信号，并将所述组差值衍射信号与相对应的轮廓参数配对并且用于产生差值衍射信号的库。由所述模拟近似衍射信号所调节的测量衍射信号与所述库比对，以确定所述结构的至少一个轮廓参数。

公开(公告)号：CN101413791A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810213950.7

申请日：2008-08-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 刘维 ,  李世芳 ,  杨维东

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24 ,  G03F7/70625

Abstract: 本发明涉及在光学计量中用近似和精细衍射模型确定结构的轮廓参数，提供了一种通过使用光学计量模型确定结构的一个或多个轮廓参数的方法，该光学计量模型包括轮廓模型、近似衍射模型和精细衍射模型。根据所述结构的近似衍射模型产生模拟近似衍射信号。通过从每个模拟精细衍射信号减去所述模拟近似衍射信号获得一组差值衍射信号，并将所述组差值衍射信号与相对应的轮廓参数配对并且用于产生差值衍射信号的库。由所述模拟近似衍射信号所调节的测量衍射信号与所述库比对，以确定所述结构的至少一个轮廓参数。