公开(公告)号：CN1310290C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200410038015.3

申请日：2004-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  石田寿文 ,  木村滋利

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32724

Abstract: 本发明提供了一种可抑制更换部件的成本增加，可降低运转成本，与先前比较，可提高温度控制性能，可以进行高精度的等离子体处理的上部电极和等离子体处理装置。设在真空腔室(1)上的上部电极(3)由电极基体(30)、冷却块体(31)和电极板(32)构成。在电极基体(30)和冷却块体(31)之间，形成有处理气体扩散用空隙(33)。在冷却块体(31)上形成多个通孔(34)，在这些通孔(34)之间，形成细的弯曲状的冷却介质流路(35)。电极板(32)通过作为具有柔软性的传热部件的硅橡胶片(36)，可自由安装和脱开地固定在冷却块体(31)的下侧，分别与通孔(34)对应而形成有喷出口(37)。

公开(公告)号：CN1551302A

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN200410038015.3

申请日：2004-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  石田寿文 ,  木村滋利

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32724

Abstract: 本发明提供了一种可抑制更换部件的成本增加，可降低运转成本，与先前比较，可提高温度控制性能，可以进行高精度的等离子体处理的上部电极和等离子体处理装置。设在真空腔室(1)上的上部电极(3)由电极基体(30)、冷却块体(31)和电极板(32)构成。在电极基体(30)和冷却块体(31)之间，形成有处理气体扩散用空隙(33)。在冷却块体(31)上形成多个通孔(34)，在这些通孔(34)之间，形成细的弯曲状的冷却介质流路(35)。电极板(32)通过作为具有柔软性的传热部件的硅橡胶片(36)，可自由安装和脱开地固定在冷却块体(31)的下侧，分别与通孔(34)对应而形成有喷出口(37)。