公开(公告)号：CN101988586B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201010236446.6

申请日：2010-07-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 达下弘一 ,  望月哲弥

IPC: F16K1/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: F16K3/186 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。该闸阀包括：阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；推压部，其沿开口部呈环状地设置在阀芯上；主滑动件，其沿与开口部的开口面平行的方向滑动；推压机构，其设置在主滑动件上，用于对推压部进行推压，推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将阀芯推压到开口部的周围的突起部以及自突起部呈下坡状形成的倾斜部，推压机构在使阀芯与开口部正对的状态下、沿与开口部的开口面垂直的方向推压阀芯，从而将阀芯推压到开口部的周围。

公开(公告)号：CN101988586A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN201010236446.6

申请日：2010-07-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 达下弘一 ,  望月哲弥

IPC: F16K1/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: F16K3/186 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。该闸阀包括：阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；推压部，其沿开口部呈环状地设置在阀芯上；主滑动件，其沿与开口部的开口面平行的方向滑动；推压机构，其设置在主滑动件上，用于对推压部进行推压，推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将阀芯推压到开口部的周围的突起部以及自突起部呈下坡状形成的倾斜部，推压机构在使阀芯与开口部正对的状态下、沿与开口部的开口面垂直的方向推压阀芯，从而将阀芯推压到开口部的周围。