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公开(公告)号：CN115206758A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210288487.2
申请日：2022-03-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/305 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供异物降落防止部件和基片处理装置，其能够防止设置于真空泵或压力控制阀的上游侧的保护网被异物堵塞。异物降落防止部件配置在设置有保护网的处理容器的排气口，包括：第一板；第二板，其以相对于上述第一板具有第一间隙的方式配置在上述排气口侧；和将上述第一板与上述第二板连结的第一连结杆，上述第一板具有沿着上述第一板的端部向上述排气口的相反侧延伸地设置的第一壁。
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