公开(公告)号：CN102029273B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201010502243.7

申请日：2010-09-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 上川裕二 ,  稻富弘朗 ,  山本秀幸 ,  小宫洋司 ,  江头浩司

IPC: B08B3/12

CPC classification number: B08B3/12 ,  B08B3/048 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/67757

Abstract: 本发明提供一种超声波清洗装置、超声波清洗方法以及记录有用于执行该超声波清洗方法的计算机程序的记录介质。该超声波清洗装置包括：清洗槽，其用于积存清洗液；被处理体保持装置，其被设置成能够插入到清洗槽内，保持被处理体而将被处理体浸渍于清洗液中；振子，其设置在清洗槽的底部；超声波振荡装置，其使振子产生超声波振动。在清洗槽内设有保持被处理体的侧部保持构件。另外，被处理体保持装置利用驱动装置向侧方移动。控制装置以下述方式控制驱动装置：在将被处理体保持于侧部保持构件之后，使被处理体保持装置向侧方移动，并使振子产生超声波振动，使来自振子的超声波振动传播到被处理体。

公开(公告)号：CN102029273A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN201010502243.7

申请日：2010-09-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 上川裕二 ,  稻富弘朗 ,  山本秀幸 ,  小宫洋司 ,  江头浩司

IPC: B08B3/12

CPC classification number: B08B3/12 ,  B08B3/048 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/67757

Abstract: 本发明提供一种超声波清洗装置、超声波清洗方法以及记录有用于执行该超声波清洗方法的计算机程序的记录介质。该超声波清洗装置包括：清洗槽，其用于积存清洗液；被处理体保持装置，其被设置成能够插入到清洗槽内，保持被处理体而将被处理体浸渍于清洗液中；振子，其设置在清洗槽的底部；超声波振荡装置，其使振子产生超声波振动。在清洗槽内设有保持被处理体的侧部保持构件。另外，被处理体保持装置利用驱动装置向侧方移动。控制装置以下述方式控制驱动装置：在将被处理体保持于侧部保持构件之后，使被处理体保持装置向侧方移动，并使振子产生超声波振动，使来自振子的超声波振动传播到被处理体。

公开(公告)号：CN201417757Y

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：CN200820179387.1

申请日：2008-12-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广城幸吉 ,  山本秀幸 ,  竹下和宏 ,  户岛孝之

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/04

CPC classification number: H01L21/67057

Abstract: 本实用新型涉及基板处理装置，其将基板浸入贮存的处理液中，进行基板处理。该基板处理装置设有具有相向配置的一对侧壁的处理槽和分别对应于上述一对侧壁而设置的一对处理液供给机构。上述一对处理液供给机构向连接上述一对侧壁的宽度方向上的上述处理槽内的中央侧供给处理液，从而在上述处理槽内的上述宽度方向上的中央区域形成上升流。上述一对侧壁的各自内壁面包括本体部、位于上述本体部上方的突出部以及位于最上方、形成上述处理液溢出的排出口的排出导向部。上述排出导向部向上且朝上述宽度方向的中央侧的对侧倾斜。上述突出部包括在上述宽度方向上比上述本体部及上述排出导向部更位于中央侧的内端部。