公开(公告)号：CN115209677A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210282339.X

申请日：2022-03-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 李黎夫 ,  小船贵基 ,  辻本宏

IPC: H05K7/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种能够恰当地提高厚度方向上的传热效率的上部电极组件。在等离子体处理装置中使用的上部电极组件包括：电极板；金属板；和传热片，其配置在上述电极板与上述金属板之间且具有垂直取向部分，上述垂直取向部分具有沿垂直方向取向的多个垂直取向石墨烯结构。

公开(公告)号：CN115223838A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210384644.X

申请日：2022-04-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小船贵基

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供能够控制等离子体电子密度的等离子体处理装置用的电极和等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置用的电极包括：导电性的第一部件；和设置在所述第一部件的内部的第二部件，其由二次电子发射系数与所述第一部件不同的材质形成。

公开(公告)号：CN114914143A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210107398.3

申请日：2022-01-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 李黎夫 ,  小船贵基

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明要解决的技术问题是提供一种能够对被从电源施加电压或电流的导电性部件的电位状态进行切换的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置包括：处理容器；配置在所述处理容器内的第一导电性部件；第二导电性部件，其具有与所述第一导电性部件的第一面相对的第二面；配置在所述第一导电性部件和所述第二导电性部件中的至少一者上的第三部件，该第三部件的形状能够随着温度变化而变化；和用于对所述第三部件施加所述温度变化的控制机构。