公开(公告)号：CN1579006A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN02821464.1

申请日：2002-08-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小原浅己 ,  竹永裕一

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  G05B13/02

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52 ,  G05B19/4099 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/22

Abstract: 通过LAN 9将CVD设备31、扩散设备33等多台处理设备3；测定设备5；以及管理用的控制计算机7进行连接。各处理设备3存储用于进行处理的控制信息。控制计算机7也存储各处理设备3的控制信息。控制计算机7使各处理设备3实施校正用的处理过程。控制计算机7从测定设备5接受校正对象的处理设备3的处理结果，并根据处理结果校正自己存储的控制信息。在校正处理完成后控制计算机7将校正了的控制信息发送至处理设备3。处理设备3保存校正了的控制信息，在下次处理中使用。

公开(公告)号：CN1331192C

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN02821464.1

申请日：2002-08-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小原浅己 ,  竹永裕一

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  G05B13/02

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52 ,  G05B19/4099 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/22

Abstract: 通过LAN 9将CVD设备31、扩散设备33等多台处理设备3；测定设备5；以及管理周的控制计算机7进行连接。各处理设备3存储用于进行处理的控制信息。控制计算机7也存储各处理设备3的控制信息。控制计算机7使各处理设备3实施校正用的处理过程。控制计算机7从测定设备5接受校正对象的处理设备3的处理结果，并根据处理结果校正自己存储的控制信息。在校正处理完成后控制计算机7将校正了的控制信息发送至处理设备3。处理设备3保存校正了的控制信息，在下次处理中使用。