公开(公告)号：CN113517416A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110346113.7

申请日：2021-03-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 及川纯史 ,  小仓荣二 ,  那须俊文 ,  植田稔彦 ,  林辉幸

IPC: H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。

公开(公告)号：CN112974180A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202011436834.9

申请日：2020-12-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 植田稔彦 ,  那须俊文 ,  及川纯史 ,  小仓荣二 ,  林辉幸

IPC: B05D3/00 ,  H01L51/56 ,  H01L51/50 ,  H01L27/32 ,  F26B5/04 ,  F26B15/12 ,  F26B25/02

Abstract: 本发明的提供能够提高减压干燥处理的均匀性的减压干燥装置和减压干燥方法。本发明的一个方式的减压干燥装置进行使基片上的液体在减压状态下干燥的减压干燥处理。实施方式的减压干燥装置包括腔室、多个顶升销和工作台。腔室收纳基片，顶升销具有与基片的下表面接触的头部和与头部连接的杆部，能够在进行基片的交接时的上升位置与进行减压干燥处理时的下降位置之间升降。工作台具有多个供杆部插通的插通孔。此外，头部在上表面的至少一部分具有在下降位置与工作台的上表面成为一个面的平坦面。