公开(公告)号：CN1310302C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN03816556.2

申请日：2003-09-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 石泽繁 ,  堀毛英史

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285

CPC classification number: H01L21/67167 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67745

Abstract: 本发明涉及具有包含对被处理体进行易产生污染的特定处理室的多个处理室，和具有2个拾取器的输送机构的处理装置中的被处理体的输送方法，本发明的方法具有在所述多个处理室之间穿行地顺序输送被处理体的多个输送工序，在把所述被处理体搬入所述特定处理室前为止的输送工序，用所述2个拾取器一方拾取器进行，在把所述被处理体搬入所述特定处理室的输送工序及其以后的该被处理体的输送工序用所述2个拾取器的另一拾取器进行。

公开(公告)号：CN1669136A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN03816556.2

申请日：2003-09-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 石泽繁 ,  堀毛英史

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285

CPC classification number: H01L21/67167 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67745

Abstract: 本发明涉及具有包含对被处理体进行易产生污染的特定处理室的多个处理室，和具有2个拾取器的输送机构的处理装置中的被处理体的输送方法，本发明的方法具有在所述多个处理室之间穿行地顺序输送被处理体的多个输送工序，在把所述被处理体搬入所述特定处理室前为止的输送工序，用所述2个拾取器一方拾取器进行，在把所述被处理体搬入所述特定处理室的输送工序及其以后的该被处理体的输送工序用所述2个拾取器的另一拾取器进行。